MSB Сериясе Урта ешлык Спуттер Электр белән тәэмин итү
-
MSB Сериясе Урта ешлык Спуттер Электр белән тәэмин итү
RHH сериясе RF электр белән тәэмин итү, клиентларны зуррак энергия, югары төгәллек һәм тиз җавап белән тәэмин итү өчен, җитлеккән RF җитештерү технологиясенә таяна.Фаза белән импульсны контрольдә тотарга, санлы көйләү һәм башка функцияләр куярга мөмкин.Кулланыла торган өлкәләр: фотоволтаик индустрия, яссы панель дисплей индустриясе, ярымүткәргеч сәнәгате, химия сәнәгате, лаборатория, фәнни тикшеренүләр, җитештерү һ.б.
Кулланыла торган процесслар: плазманы көчәйтелгән химик пар парламенты (PECVD), плазманы чистарту, плазманы чистарту, радио ешлыклы ион чыганагы, плазма диффузиясе, плазма полимеризациясе, реактив бөтерелү һ.б.