MSB Сериясе Урта ешлык Спуттер Электр белән тәэмин итү

Кыска тасвирлау:

RHH сериясе RF электр белән тәэмин итү, клиентларны зуррак энергия, югары төгәллек һәм тиз җавап белән тәэмин итү өчен, җитлеккән RF җитештерү технологиясенә таяна.Фаза белән импульсны контрольдә тотарга, санлы көйләү һәм башка функцияләр куярга мөмкин.Кулланыла торган өлкәләр: фотоволтаик индустрия, яссы панель дисплей индустриясе, ярымүткәргеч сәнәгате, химия сәнәгате, лаборатория, фәнни тикшеренүләр, җитештерү һ.б.

Кулланыла торган процесслар: плазманы көчәйтелгән химик пар парламенты (PECVD), плазманы чистарту, плазманы чистарту, радио ешлыклы ион чыганагы, плазма диффузиясе, плазма полимеризациясе, реактив бөтерелү һ.б.

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

Безгә электрон почта җибәрегез

Үзенчәлекләр

● Ярты кирпеч һәм шкаф монтаж стильләре

Convenient Уңайлы һәм бай операция менюсы белән тулы санлы контрольне кабул итегез

● ешлыкны көйләү, импульс һәм импульсны синхронизацияләү функцияләре

CE CEX фаза синхронизация функциясе белән

Protection Камил саклау функциясе

Продукциянең детальләре

Керү	Керү көчәнеше: AC220V ± 10% 3ΦAC380V ± 5% (Махсус спецификацияләр көйләнергә мөмкин)
Керү	Керү ешлыгы: 47 ~ 63Гц
Чыгыш	Чыгыш ешлыгы: 13.56МГц 、 27.12МГц 、 40.68МГц
	Тюнинг диапазоны: ± 5%
	Чыгыш көче: 1,5 ~ 5кВт
	Чыгыш көчен көйләү диапазоны: 1 ~ 100%
	Чыгыш импедансы: 50Ω + j0
	Чыгыш интерфейсы: N тибы
	Чыгыш режимы: өзлексез, импульс
	Пульс ешлыгы: 100Гц ~ 100кГц
	Бурыч циклы: 5 ~ 95%
Эшчәнлек индексы	Көч факторы: 0.98
	Ешлыкның тотрыклылыгы төгәллеге: ± 0,005%
	Эффективлык: 75% (бәяләнгән бәядә)
	Гармоник: ＜ -45dBc
	Адашу: ＜ -50dBc
	Тышкы контроль интерфейс: аналог саны, аралашу һәм синхронизация
	Аралашу режимы: RS485 стандарт аралашу интерфейсы;Өстәмә Ether CAT, сәнәгать Ethernet һ.б.
Искәрмә: продукт яңалыкны дәвам итә һәм җитештерүчәнлек яхшыруны дәвам итә.Бу параметр тасвирламасы бары тик белешмә өчен.