Ул RLS серияле RF электр белән тәэмин ителешенә яраклаштырыла ала, һәм плазманы эшкәртүдә, каплауда, плазманы чистартуда, плазманы дегумминглауда һәм башка процессларда киң кулланыла.Берүзе кулланылганда, аны башка җитештерүчеләрнең RF электр тәэминаты белән бергә кулланырга мөмкин.